116_2 · LibMeta · SciLib
Журнал ИМТ Фрагмент документаКлючевые слова

116_2

http://libmeta.ru/resource/imt/seg/116_2

Текст фрагмента

кристаллический кварц; резонатор; мягкие пленки; вязко-упругие пленки; qcm; qcn; qcm-d

Данные

hasConfidence1.0
hasOrderIndex2
wasManuallyVerifiedfalse

extractedFrom

116

generatedBy